La lithographie extrême ultraviolet (EUV) est le verrou technologique de l’industrie des semi-conducteurs depuis plus d’une décennie, dominé par ASML aux Pays-Bas. Fin 2025, la Chine franchit un cap stratégique : un laboratoire ultra-sécurisé à Shenzhen teste désormais un prototype de machine EUV. Ce n’est pas encore une production commerciale, mais c’est un tournant dans la compétition technologique sino-américaine.
Pourquoi la lithographie EUV est cruciale pour le leadership technologique
La lithographie EUV permet de graver des circuits de 3 nm et moins, essentiels pour :
- L’intelligence artificielle et les algorithmes de machine learning avancés
- Les smartphones haut de gamme et processeurs mobiles
- Les systèmes militaires et de défense avancés
- Le calcul haute performance (HPC) et les supercalculateurs
Chiffres clés :
- 💰 Coût moyen d’une machine EUV : 250 millions de dollars (ASML)
- ⚖️ Poids : 180 tonnes
- ⏱️ Temps de R&D avant production commerciale : 20 ans (mise en production 2019)
- 🏭 Exportation vers la Chine : 0 machine depuis l’embargo américain de 2019
Insight stratégique : maîtriser l’EUV, c’est contrôler la chaîne de valeur mondiale des semi-conducteurs avancés.
Le laboratoire secret de Shenzhen : avancées et limites
Selon Reuters :
- ✔️ Prototype EUV fonctionnel assemblé début 2025
- ✔️ Génération de lumière EUV à 13,5 nm, étape la plus complexe
- ❌ Pas encore de production commerciale
- ❌ Rendements industriels inexistants
- ❌ Optique encore loin des standards ASML
Ce laboratoire sert de démonstrateur technologique, pas d’outil industriel.
Le “Manhattan Project” technologique chinois
Le projet est hautement confidentiel :
- Ingénieurs travaillant sous faux noms et équipes cloisonnées
- Accès téléphonique restreint
- Supervision directe par la Commission centrale science & technologie, proche de Xi Jinping
Objectif officiel : exclure les États-Unis de la chaîne d’approvisionnement en semi-conducteurs avancés.
Huawei, pivot de l’écosystème EUV chinois
Huawei coordonne :
- Universités, laboratoires publics et industriels
- Plus de 3 000 chercheurs impliqués
- Collaboration avec SMEE (Shanghai Micro Electronics Equipment Group)
Huawei relie conception de puces, machines de fabrication et produits finaux (IA, télécoms, défense).
Le vrai talon d’Achille : l’optique EUV
Le principal blocage reste les miroirs ultra-précis :
- ASML dépend de Carl Zeiss (Allemagne)
- Tolérance requise : <1 nanomètre
- La Chine n’a pas encore de solution viable
Sans cette optique, la production industrielle reste impossible.
Calendrier prévisionnel : 2028 ou 2030 ?
- Objectif officiel Pékin : 2028 pour puces fonctionnelles
- Experts : 2030 voire plus réaliste
- Comparatif : ASML a mis 11 ans pour passer de prototype à production industrielle, avec toute la supply chain occidentale
Où en est la Chine dans la course aux puces ?
| Segment | Situation réelle |
| EUV | Prototype fonctionnel, non industriel |
| DUV | Progression rapide, déjà opérationnel |
| Puces <7 nm | Très limité, faible rendement |
| Écosystème complet | Incomplet |
Conclusion : la Chine n’a pas encore gagné la course, mais réduit un retard stratégique.
Conclusion : rupture stratégique, pas domination technologique
Le laboratoire secret de Shenzhen ne change pas l’ordre mondial immédiat, mais marque une rupture. La dépendance technologique de la Chine n’est plus totale. La question n’est plus “si” mais “à quel coût et à quelle vitesse ?”.








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